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手臂分揀機器人的工作原理,機器人進軍半導體行業是一種挑戰
2023-05-07
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據媒體報道,新松機器人傳播鼓吹擬募資18.03億元次要用于扶植半導體范疇半導體設備及自動化名目,用于IC真空機械手及集束型設備名目、半導體自動物料搬運體系名目、半導體物料經管控制系統名目和增補流動資金。

作為海內僅有的一家真空機械手的供應商,客歲機器人真空機械手已批量使用于南方華創、中科院微電子研究所等企業跟機構,無望正在海內全面推廣。

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眾所周知,新松機器人建立于2000年,附屬中國科學院,是中國第一家處置機器人產業化跟實現機器人出口的企業。新松機器人產品線齊備,涵蓋工業機器人、干凈機器人、移動機器人、特種機器人及智能效勞機器人五大系列。

機器人進軍半導體行業是一種應戰

半導體行業包羅了浩繁范疇,正在這些范疇傍邊又有著良多龐大的工序,好比后期的晶體制造、中期的封裝集成,另有前期的組裝包裝、運輸等等。機器人進軍半導體行業既是一種應戰也是一種趨向,機器人本身須要存在易使用、機能靈巧輕巧,不只要知足無塵空間的等級要求,還要當心易碎的產物,對極為纖細的器件須要高度精準天定位、安排跟組裝。

半導體行業對工業機器人的要求非常嚴厲,正在真空情況下,要保障機器人的潔凈度,由于半導體產物的特殊性,借要求機器人防震,防抖動,靜音出產,可能有精準到5mm的反復定位等等。

進軍半導體市場,捉住產業鏈遷徙機緣

跟著半導體產業向中國大陸遷徙,英特爾、三星等國際大廠連續正在我國大陸地域投資建廠,大陸對半導體范疇自動化設備需要晉升。

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基于此,新松起頭進軍半導體配備范疇:2009年、2011年新松起頭負擔兩大國度集成電路“02專項“名目,加大了對半導體設備的研發;2018年,新松機器人起頭設立半導體配備BG,次要面向以芯片制造,面板制造為代表的泛半導體范疇,供給設備與自動化解決方案。現階段,新松曾經勝利研發了海內首臺存在自力知識產權的新型雙臂大氣機械手,而且經由過程了終端用戶華創、中微等客戶驗證。

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除正在產品開發上加大力度,新松正在本錢層面也采用了響應舉措。2018年1月,新松以約6.4億元人民幣收買韓國半導體設備企業新盛旗下公司80%的股權。不難看出,經由過程這些舉動,新松愿望正在下一個行業暴發面光降前搶占先機。

擬募資18億新建半導體設備

新松此次擬向特定工具發行股票的召募資金總額沒有跨越18.03億元用于IC真空機械手及集束型設備名目、半導體自動物料搬運體系名目、半導體物料經管控制系統名目和增補流動資金。

此前新松已研制了系列化干凈真空機器人產物,包羅大氣機械手系列產品、集成電路配備真空機械手系列產品(真空度到達最高1×10-6Pa)。真空直驅機器人攻破外洋把持,可以實現間接替換;自動物料搬運體系體系設備次要包羅干凈存儲系統、干凈軌道體系、空中無人搬運車等,公示可以為半導體工場供給整套自動物料搬運體系;而新松承接的廣州超視堺Mask搬送體系名目,此中也包括ACS體系(近似MCS的體系,范圍要比MCS體系范圍小)的子定單,存在后天劣勢。

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上述三個名目建成后,年估計可實現年均業務支出約10.05億元、11.90億元、1.8億元,共計到達23.75億元。而客歲公司整年營收27.45億元,此次擴產名目若告竣方針將增長營收85%。

機器人將半導體配備營業肯定為三大營業板塊之一,2018年5月,公司集合整合資源建立半導體配備事業部,美滿正在集成電路設備自動化與自動物料搬運體系產業的結構,干凈真空機器人、干凈自動化配備、自動物料搬運體系是公司自立研發的面向集成電路行業高端的成套配備,半導體物料經管控制系統產業化是公司拓展的新營業。

使用半導體,新松已奔忙正在前列

現階段新松研發的真空機械手已批量使用于南方華創、中科院微電子研究所等企業。集束型設備行業使用涵蓋半導體CMP蕩滌設備、半導體刻蝕設備、半導體涂膠設備等,且實現小批量樹模使用;半導體自動搬運體系曾經實現正在上海集成電路研發中間生產線上的使用,并勝利使用于Sandisk、賽意法等半導體芯片加工廠,面向面板制造廠開辟的掩模版自動物料搬運體系,曾經正在華星光電T1、T7工場及夏普廣州廠實現成熟使用。

2012年以來,海內半導體設備需要迅猛增加,中國是寰球第二年夜半導體設備市場,2018年到達131.10億美元,但國產設備自給率很低,僅為13%擺布。將來即使焦點半導體設備仍然依賴入口,半導體設備國產化空間依然極大。而且半導體工場自動化對工場的稼動率十分緊張,寰球該市場的年采購額正在20億美金擺布,因為外洋對中國半導體產業的封閉,海內半導體產業關于自動物料搬運體系需要火急。

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而新松是海內獨一一家真空機械手的供應商,而新松自立研發的面向半導體行業的高端配備自動物料搬運體系曾經造成了自力產品線,可以慢慢實現國產化替換。

干凈機器人及半導體配備作為新松公司的焦點營業之一,現已造成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER跟AMHS體系多個產品線。干凈產物客戶現已普及大陸和臺灣地區。

現階段,新松干凈機器人已完全攻破國外同類企業正在半導體范疇的把持局勢,擁有海內市場50%以上份額。

新松復合機器人基于移動機器人跟工業機器人體系的翻新融會,綜合視覺賠償、力覺節制、碰撞護衛跟自動導航等技巧,可快捷結構自動化工場,順應下柔性化出產形式,次要使用于半導體封裝測試環節,可知足FOUP,CST,MGZ正在各機臺間的自動運輸,終端定位精度可達±0.05mm,CLASS100潔凈度,能為半導體出產使用供給最優的體系解決方案。

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